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　　2025年6月21日，自然科学基金委信息科学部在北京召开国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统”结题验收会议。自然科学基金委党组成员、副主任陆建华，自然科学基金委信息科学部主任郝跃、计划与政策局副局长杨列勋，教育部科学技术与信息化司一级巡视员张国辉，北京大学副校长朴世龙出席会议。信息科学部常务副主任刘克主持开幕式，专家组组长、南京大学祝世宁教授主持验收会议，北京科技大学张跃教授、东北师范大学刘益春教授等作为验收专家参加会议。

　　陆建华副主任在致辞中表示，国家重大科研仪器研制项目面向世界科学前沿和国家重大需求，鼓励和培育原创性重大科研仪器设备研制，为科学研究提供新颖工具，带动学科发展，提升我国科学研究的原始创新能力。仪器项目的最终成果应该是一整的新仪器，不能停留在部件或分立系统的阶段。希望专家组在验收过程中，对项目成果的“增量”“变量”和“份量”进行客观评价，从仪器设备核心指标的完成情况、经费使用及档案资料的规范性方面严格把关，高质量完成验收工作。最后，他勉励研究团队以项目结题为新的起点，致力仪器的转化应用。